日前，江蘇省地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（征求意見(jiàn)稿）已經(jīng)印發(fā)。征求意見(jiàn)稿對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)大氣污染物、水污染物排放項(xiàng)目及限值做了詳細(xì)規(guī)定。全文如下：

半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

（征求意見(jiàn)稿）

前言

為貫徹《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》、《中華人民共和國(guó)水污染防治法》等法律、法規(guī)，防治環(huán)境污染，改善環(huán)境質(zhì)量，促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)的進(jìn)步，制定本標(biāo)準(zhǔn)。

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體工業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的水污染物和大氣污染物排放限值、監(jiān)測(cè)和監(jiān)控要求，以及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施與監(jiān)督等相關(guān)規(guī)定。

本標(biāo)準(zhǔn)未規(guī)定的污染物項(xiàng)目仍執(zhí)行國(guó)家或地方污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)家或地方發(fā)布的(綜合或行業(yè))污染物排放標(biāo)準(zhǔn)中，排放限值嚴(yán)于本標(biāo)準(zhǔn)限值的，按照從嚴(yán)要求的原則，執(zhí)行更嚴(yán)格的排放控制要求。

本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

本標(biāo)準(zhǔn)由江蘇省環(huán)境保護(hù)廳組織制訂。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：江蘇省環(huán)境科學(xué)研究院、江蘇省環(huán)科咨詢股份有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)江蘇省人民政府于2018年**月**日批準(zhǔn)。

本標(biāo)準(zhǔn)自2018年**月**日實(shí)施。

本標(biāo)準(zhǔn)由江蘇省環(huán)境保護(hù)廳解釋。

半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物和大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)值。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物排放管理、大氣污染物排放管理，以及半導(dǎo)體企業(yè)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)、建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工驗(yàn)收及其投產(chǎn)后的污染控制與管理。

2規(guī)范性引用文件

本標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容引用了下列文件或其中的條款。凡是不注明日期的引用文件，其有效版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T6920水質(zhì)pH值的測(cè)定玻璃電極法

GB/T7466水質(zhì)總鉻的測(cè)定

GB/T7467水質(zhì)六價(jià)鉻的測(cè)定二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T7470水質(zhì)鉛的測(cè)定雙硫腙分光光度法

GB/T7471水質(zhì)鎘的測(cè)定雙硫腙分光光度法

GB/T7475水質(zhì)銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定原子吸收分光光度法

GB/T7484水質(zhì)氟化物的測(cè)定離子選擇電極法

GB/T7485水質(zhì)總砷的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

GB8978污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

GB/T11893水質(zhì)總磷的測(cè)定鉬酸銨分光光度法

GB/T11901水質(zhì)懸浮物的測(cè)定重量法

GB/T11907水質(zhì)銀的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法

GB/T11910水質(zhì)鎳的測(cè)定丁二酮肟分光光度法

GB/T11912水質(zhì)鎳的測(cè)定火焰原子吸收分光光度法

GB/T11914水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定重鉻酸鹽法

GB/T14668空氣質(zhì)量氨的測(cè)定納氏試劑比色法

GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測(cè)定與氣態(tài)污染物采樣方法

GB16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)

GB/T16489水質(zhì)硫化物的測(cè)定亞甲基藍(lán)分光光度法

HJ480環(huán)境空氣氟化物的測(cè)定濾膜采樣氟離子選擇電極法

HJ481環(huán)境空氣氟化物的測(cè)定石灰濾紙采樣氟離子選擇電極法

HJ484水質(zhì)氰化物的測(cè)定容量法和分光光度法

HJ485水質(zhì)銅的測(cè)定二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法

HJ486水質(zhì)銅的測(cè)定2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法

HJ487水質(zhì)氟化物的測(cè)定茜素磺酸鋯目視比色法

HJ488水質(zhì)氟化物的測(cè)定氟試劑分光光度法

HJ489水質(zhì)銀的測(cè)定3,5-Br2-PADAP分光光度

HJ490水質(zhì)銀的測(cè)定鎘試劑2B分光光度法

HJ493水質(zhì)采樣樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)定

HJ494水質(zhì)采樣技術(shù)指導(dǎo)

HJ495水質(zhì)采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)指導(dǎo)

HJ505水質(zhì)五日生化需氧量(BOD5)的測(cè)定稀釋與接種法

HJ533環(huán)境空氣和廢氣氨的測(cè)定納氏試劑分光光度法

HJ534環(huán)境空氣氨的測(cè)定次氯酸鈉-水楊酸分光光度法

HJ535水質(zhì)氨氮的測(cè)定納氏試劑分光光度法

HJ536水質(zhì)氨氮的測(cè)定水楊酸分光光度法

HJ537水質(zhì)氨氮的測(cè)定蒸餾-中和滴定法

HJ544固定污染源廢氣硫酸霧的測(cè)定離子色譜法

HJ548固定污染源廢氣氯化氫的測(cè)定硝酸銀容量法

HJ549環(huán)境空氣和廢氣氯化氫的測(cè)定離子色譜法

HJ583環(huán)境空氣苯系物的測(cè)定固體吸附/熱脫附-氣相色譜法

HJ584環(huán)境空氣苯系物的測(cè)定活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法

HJ659水質(zhì)氰化物等的測(cè)定真空檢測(cè)管-電子比色法

HJ670水質(zhì)磷酸鹽和總磷的測(cè)定連續(xù)流動(dòng)-鉬酸銨分光光度法

HJ671水質(zhì)總磷的測(cè)定流動(dòng)注射-鉬酸銨分光光度法

HJ694水質(zhì)汞、砷、硒、鉍和銻的測(cè)定原子熒光法

HJ732固定污染源廢氣揮發(fā)性有機(jī)物的采樣氣袋法

HJ/T38固定污染源排氣中非甲烷總烴的測(cè)定氣相色譜法

HJ/T55大氣污染物無(wú)組織排放監(jiān)測(cè)技術(shù)導(dǎo)則

HJ/T60水質(zhì)硫化物的測(cè)定碘量法

HJ/T67大氣固定污染源氟化物的測(cè)定離子選擇電極法

HJ/T75固定污染源煙氣排放連續(xù)監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范(試行)

HJ/T76固定污染源煙氣排放連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)技術(shù)要求及檢測(cè)方法(試行)

HJ/T84水質(zhì)無(wú)機(jī)陰離子的測(cè)定離子色譜法

HJ/T91地表水和污水監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范

HJ/T195水質(zhì)氨氮的測(cè)定氣相分子吸收光譜法

HJ/T200水質(zhì)硫化物的測(cè)定氣相分子吸收光譜法

HJ/T373固定污染源監(jiān)測(cè)質(zhì)量保證與質(zhì)量控制技術(shù)規(guī)范(試行)

HJ/T397固定源廢氣監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范

HJ/T399水質(zhì)化學(xué)需氧量的測(cè)定快速消解分光光度法

《污染源自動(dòng)監(jiān)控管理辦法》(國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令第28號(hào))

《環(huán)境監(jiān)測(cè)管理辦法》(國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令第39號(hào))

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1半導(dǎo)體企業(yè)semiconductorindustry

指從事半導(dǎo)體分立器件或集成電路的制造、封裝測(cè)試的企業(yè)。

3.2特殊保護(hù)水域specialprotectedwaterarea

指《江蘇省太湖水污染防治條例》中劃定的太湖流域水域;GB3838中II類水域;由本省各市人民政府規(guī)定的居民集中式生活飲用水取水口衛(wèi)生防護(hù)帶水域。

3.3廢氣處理設(shè)施exhaustgascontroldevices

指處理廢氣的濕式洗滌塔、焚燒塔、吸收塔、冷凝塔或其他設(shè)備，但不包括工藝中設(shè)備自帶的預(yù)處理設(shè)備。

3.4密閉排氣系統(tǒng)closedventsystem

指可將設(shè)備或設(shè)備組件排出或逃逸的空氣污染物捕集并輸送至廢氣污染防治設(shè)備，使傳送的氣體不直接與大氣接觸的系統(tǒng)。

3.5現(xiàn)有企業(yè)existingfacility

指本標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施之日前已建成投產(chǎn)或環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件已通過(guò)審批的半導(dǎo)體企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施。

3.6新建企業(yè)newfacility

指本標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施之日起環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件通過(guò)審批的新建、改建和擴(kuò)建的半導(dǎo)體工業(yè)建設(shè)項(xiàng)目。

3.7直接排放directdisge

指排污單位直接向環(huán)境水體排放水污染物的行為。

3.8間接排放indirectdisge

指排污單位向公共污水處理系統(tǒng)排放水污染物的行為。

3.9公共污水處理系統(tǒng)publicwastewatertreatmentsystem

通過(guò)納污管道等方式收集廢水，為兩家以上排污單位提供廢水處理服務(wù)并且排水能夠達(dá)到相關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)要求的企業(yè)或機(jī)構(gòu)，包括各種規(guī)模和類型的城鎮(zhèn)污水處理廠、區(qū)域(包括各類工業(yè)園區(qū)、開(kāi)發(fā)區(qū)、工業(yè)聚集地等)廢水處理廠等，其廢水處理程度應(yīng)達(dá)到二級(jí)或二級(jí)以上。

3.10揮發(fā)性有機(jī)物volatileorganiccompounds,VOCs

參與大氣光化學(xué)反應(yīng)的有機(jī)化合物，或者根據(jù)規(guī)定的方法測(cè)量或核算確定的有機(jī)化合物。

3.11非甲烷總烴non-methanehydrocarbon

采用規(guī)定的監(jiān)測(cè)方法，檢測(cè)器有明顯響應(yīng)的除甲烷外的碳?xì)浠衔锏目偡Q(以碳計(jì))。本標(biāo)準(zhǔn)使用“非甲烷總烴(NMHC)”作為排氣筒和廠界揮發(fā)性有機(jī)物排放的綜合控制指標(biāo)。

3.12標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)standardcondition

指溫度為273.15K，壓力為101325Pa時(shí)的狀態(tài)。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣污染物排放濃度限值均以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的干氣體為基準(zhǔn)。

3.13企業(yè)邊界enterpriseboundary

指半導(dǎo)體工業(yè)企業(yè)的法定邊界。若無(wú)法定邊界，則指企業(yè)的實(shí)際占地邊界。

4污染物排放控制要求

4.1水污染物排放控制要求

4.1.1標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)

4.1.1.1特殊保護(hù)水域內(nèi)不準(zhǔn)新建排污口。原有排污口執(zhí)行表1標(biāo)準(zhǔn)和表2中的特別排放限值標(biāo)準(zhǔn)。

4.1.1.2現(xiàn)有企業(yè)2018年7月1日前仍執(zhí)行現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)，自2018年7月1日起執(zhí)行表1、表2規(guī)定的水污染物排放限值。

4.1.1.3自2018年7月1日起，新建企業(yè)污水執(zhí)行表1、表2規(guī)定的排放限值。

4.1.2標(biāo)準(zhǔn)值分類

4.1.2.1本標(biāo)準(zhǔn)將污染物按其性質(zhì)及控制方式分成二類。

4.1.2.1.1第一類污染物，不分污水排放方式和受納水體的功能類別，一律在車間或車間處理設(shè)施排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)到本標(biāo)準(zhǔn)要求。

4.1.2.1.2第二類污染物，在排放單位排放口采樣，其最高允許排放濃度應(yīng)達(dá)到本標(biāo)準(zhǔn)要求。

4.1.2.2本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)氟化物、懸浮物(SS)、生化需氧量(BOD5)、化學(xué)需氧量(CODCr)、氨氮5項(xiàng)污染物均規(guī)定了以日均值計(jì)的最高允許排放濃度和以瞬時(shí)值計(jì)的最高允許排放濃度兩項(xiàng)指標(biāo)，這5項(xiàng)污染物的排放應(yīng)同時(shí)遵守上述兩項(xiàng)指標(biāo)。其他污染物的最高允許排放濃度以日均值計(jì)。

4.1.2.3企業(yè)向城鎮(zhèn)污水處理廠排放廢水時(shí)，水污染物排放執(zhí)行表1、表2排放控制要求;企業(yè)廢水排入公共污水處理系統(tǒng)的除總鎘、總鉻、六價(jià)鉻、總砷、總鉛、總鎳、總銀執(zhí)行表1排放控制要求外，由企業(yè)與公共污水處理系統(tǒng)商定或執(zhí)行相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，并報(bào)當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)主管部門備案，公共污水處理系統(tǒng)排放應(yīng)保證達(dá)到相關(guān)環(huán)保要求。

4.1.3標(biāo)準(zhǔn)值

半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物排放執(zhí)行表1和表2的規(guī)定。

4.2大氣污染物排放控制要求

4.2.1位于GB3095中一類區(qū)的污染源禁止排放表3所列的大氣污染物。

4.2.2現(xiàn)有企業(yè)2018年7月1日前仍執(zhí)行現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)，自2018年7月1日起執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)表3規(guī)定的排放限值。

4.2.3自2018年7月1日起，新建企業(yè)執(zhí)行表3規(guī)定的排放限值。

4.2.4企業(yè)邊界大氣污染物任何1小時(shí)平均濃度執(zhí)行表4規(guī)定的限值。

4.2.5為減少全氟化物(PFCs)排放對(duì)環(huán)境產(chǎn)生的影響，集成電路制造企業(yè)宜制訂PFCs排放的年削減計(jì)劃，通過(guò)優(yōu)化工藝、原料替代、循環(huán)利用、污染治理等措施減少PFCs的排放。

4.2.6其他規(guī)定

4.2.6.1排氣筒高度不應(yīng)低于15m，具體高度按批準(zhǔn)的環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件要求確定。

4.2.6.2當(dāng)排氣筒周圍半徑200m范圍內(nèi)有建筑物時(shí)，除應(yīng)執(zhí)行4.2.6.1規(guī)定外，排氣筒還應(yīng)高出最高建筑物3m以上。

4.2.6.3如果排氣筒高度達(dá)不到4.2.6.1、4.2.6.2的任何一項(xiàng)規(guī)定時(shí)，其大氣污染物排放限值應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)排放限值的50%執(zhí)行。

4.2.6.4企業(yè)內(nèi)部設(shè)置的鍋爐，其大氣污染物排放應(yīng)執(zhí)行GB13271。

5污染物監(jiān)測(cè)要求

5.1污染物監(jiān)測(cè)的一般要求

5.1.1企業(yè)應(yīng)按照有關(guān)法律和《環(huán)境監(jiān)測(cè)管理辦法》等規(guī)定，建立企業(yè)監(jiān)測(cè)制度，制定監(jiān)測(cè)方案，對(duì)污染物排放狀況及其對(duì)周邊環(huán)境質(zhì)量的影響開(kāi)展自行監(jiān)測(cè)，保存原始監(jiān)測(cè)記錄，并公布監(jiān)測(cè)結(jié)果。

5.1.2企業(yè)安裝污染源排放自動(dòng)監(jiān)控設(shè)備的要求，按有關(guān)法律和《污染源自動(dòng)監(jiān)控管理辦法》的規(guī)定執(zhí)行。

5.1.3企業(yè)應(yīng)按照環(huán)境監(jiān)測(cè)管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計(jì)、建設(shè)、維護(hù)永久性采樣口、采樣測(cè)試平臺(tái)和排污口標(biāo)志。

5.1.4對(duì)企業(yè)排放的廢水和廢氣的采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測(cè)污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進(jìn)行。有廢水、廢氣處理設(shè)施的，應(yīng)在該設(shè)施后監(jiān)控。

5.2水污染物監(jiān)測(cè)要求

5.2.1水污染物的監(jiān)測(cè)采樣按HJ/T91、HJ493、HJ494、HJ495的規(guī)定執(zhí)行。

5.2.2對(duì)企業(yè)排放水污染物濃度的測(cè)定采用表5所列的方法標(biāo)準(zhǔn)。

5.3大氣污染物監(jiān)測(cè)要求

5.3.1排氣筒中大氣污染物的監(jiān)測(cè)采樣按GB/T16157、HJ/T397或HJ/T75規(guī)定執(zhí)行;大氣污染物無(wú)組織排放的監(jiān)測(cè)按HJ/T55規(guī)定執(zhí)行。

5.3.2對(duì)企業(yè)排放大氣污染物濃度的測(cè)定采用表6所列的方法標(biāo)準(zhǔn)。

6標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施與監(jiān)督

6.1本標(biāo)準(zhǔn)由縣級(jí)以上人民政府環(huán)境保護(hù)行政主管部門負(fù)責(zé)監(jiān)督實(shí)施。

6.2在任何情況下，企業(yè)均應(yīng)遵守本標(biāo)準(zhǔn)的污染物排放控制要求，采取必要措施保證污染防治設(shè)施正常運(yùn)行。各級(jí)環(huán)保部門在對(duì)設(shè)施進(jìn)行監(jiān)督性檢查時(shí)，可以現(xiàn)場(chǎng)即時(shí)采樣或監(jiān)測(cè)獲得的結(jié)果作為判定排污行為是否符合排放標(biāo)準(zhǔn)及實(shí)施相關(guān)環(huán)境保護(hù)管理措施的依據(jù)。

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